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XY 通光孔平台

主要特点
●特别适用于中心通光孔的检验应用
●集成XY精密直线电机平台
●出色的几何性能(平面度士10um,XY正交度土5arc-sec)
●集成电缆管理

应用
●自动光学检验
●半导体晶圆检测、视觉检测
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●特别适用于中心通光孔的检验应用
●集成XY精密直线电机平台
●出色的几何性能(平面度士10um,XY正交度土5arc-sec)
●集成电缆管理

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